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利用磁控溅射方法,在ITO玻璃基底上分别溅射镁掺杂的氮化铝(AlN:Mg)薄膜、铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al或AZO)薄膜,成功制备AlN:Mg/ZnO:Al透明异......

